水クラスターイオンとシリコン基板の表面反応

DOI

市橋岳

京大光・電子理工セ
西村拓朗

京大光・電子理工セ
龍頭啓充

京大光・電子理工セ
竹内光明

京大光・電子理工セ
高岡義寛

京大光・電子理工セ

収録刊行物

応用物理学会学術講演会講演予稿集

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2012.1 (0), 1699-1699, 2012-02-29

公益社団法人応用物理学会

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CRID

1390861074208798208
DOI

10.11470/jsapmeeting.2012.1.0_1699
ISSN

24367613
本文言語コード

ja
データソース種別
- JaLC

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