ECRスパッタ積層SiN/AlGaN/GaN MIS-HFETのDC特性
書誌事項
- 公開日
- 2011-03-09
- DOI
-
- 10.11470/jsapmeeting.2011.1.0_3321
- 公開者
- 公益社団法人 応用物理学会
収録刊行物
-
- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
-
応用物理学会学術講演会講演予稿集 2011.1 (0), 3321-3321, 2011-03-09
公益社団法人 応用物理学会
