書誌事項
- タイトル別名
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- Development of High-Precision Measurement Method for High-Numerical-Aperture Spherical Testing by Fizeau Interferometry with Mechanical Phase-Shift
- フィゾーカタ キカイシキ イソウ シフト カンショウケイ ニ ヨル コウカイコウスウ レンズ ノ コウセイド ソクテイ ギジュツ ノ カイハツ
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収録刊行物
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- 精密工学会誌
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精密工学会誌 90 (2), 171-176, 2024-02-05
公益社団法人 精密工学会
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390862036397305984
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- NII書誌ID
- AN1003250X
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- ISSN
- 1882675X
- 09120289
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- NDL書誌ID
- 033335232
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- NDL
- Crossref