シリコン基板に対するエタノールクラスターイオン照射効果の基板温度依存性

DOI

向井寛

京大光・電子理工学セ
龍頭啓充

京大光・電子理工学セ
竹内光明

京大光・電子理工学セ
高岡義寛

京大光・電子理工学セ

収録刊行物

応用物理学会学術講演会講演予稿集

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2010.2 (0), 1463-1463, 2010-08-30

公益社団法人応用物理学会

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CRID

1390862036409839488
DOI

10.11470/jsapmeeting.2010.2.0_1463
ISSN

24367613
本文言語コード

ja
データソース種別
- JaLC

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