Microprobe tip ball measurement using a non-contact contour measuring machine
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- Tomioka Takehiro
- Toyama Prefectural University
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- Ito So
- Toyama Prefectural University
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- Inukai Daichi
- Toyama Prefectural University
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- Matsumoto Kimihisa
- Toyama Prefectural University
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- Kamiya Kazuhide
- Toyama Prefectural University
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- Kataoka Satoshi
- Industrial Technology Center of Tochigi Prefecture
Bibliographic Information
- Other Title
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- 非接触輪郭形状測定機を用いたマイクロプローブ先端球の計測
Abstract
<p>直径0.1mm未満のプローブ先端球では,直径と形状誤差の評価に用いるnm精度基準球の作製が困難であるため,従来の比較測定に基づくプローブ校正には課題がある.本研究ではマイクロプローブ先端球の直径と形状誤差をnm精度で測定するために,非接触輪郭形状測定機による測定に取り組んだ.輪郭形状よりプローブ先端球の直径及び真円度を算出し,真円度測定機による測定結果との比較により,提案手法の有効性を検証した.</p>
Journal
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- Proceedings of JSPE Semestrial Meeting
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Proceedings of JSPE Semestrial Meeting 2023A (0), 530-531, 2023-08-31
The Japan Society for Precision Engineering
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1390862268805462656
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- Text Lang
- ja
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- Data Source
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- JaLC
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- Abstract License Flag
- Disallowed