温度差を必要としない熱電変換素子および関連する計測技術
抄録
<p>私達は陽極と陰極の間にナノ粒子を配置した構造の温度差を必要としない熱電発素子の、併せて使用するナノ粒子のフェムト秒レーザーを使用した製造の研究開発を行っている。<br>本講演では、関連する以下の計測技術を紹介する。<br>1、陽極と陰極の間のギャップを測定する非走査型白色光干渉<br>2、透過電子顕微鏡TEM画像から粒径分布を求めるデータ処理<br>3、局在表面プラズモン共鳴LSPRによる色情報を使用したプロセスエンドモニター</p>
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2023A (0), 591-592, 2023-08-31
公益社団法人 精密工学会