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- 白水 博
- パナソニックコネクト株式会社プロセスオートメーション事業部回路形成プロセス事業担当半導体プロセス開発2部
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- 丹正 淳文
- 日本アイ・ビー・エムデジタルサービス株式会社デジタル事業部インダストリアルソリューション本部第四インダストリアルソリューション統括部
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- 翁 振雄
- 日本アイ・ビー・エムデジタルサービス株式会社デジタル事業部インダストリアルソリューション本部第四インダストリアルソリューション統括部
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- 田村 好司
- パナソニックコネクト株式会社プロセスオートメーション事業部回路形成プロセス事業担当半導体プロセス開発2部
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- 峯 孝太郎
- パナソニックコネクト株式会社プロセスオートメーション事業部回路形成プロセス事業担当半導体プロセス開発2部
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- 小川 正太郎
- パナソニックコネクト株式会社プロセスオートメーション事業部回路形成プロセス事業担当半導体プロセス開発2部
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- 勝山 ちひろ
- パナソニックコネクト株式会社プロセスオートメーション事業部回路形成プロセス事業担当半導体プロセス開発2部
書誌事項
- タイトル別名
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- Predictive Maintenance for Plasma Cleaner by Using Plasma Monitor
抄録
<p>半導体製造のパッケージング工程において，ワイヤーボンディングの接合性向上，モールド封止樹脂の密着性改善などの目的で，プラズマクリーナーが使用されている。プラズマクリーナーでは，前半工程のプラズマ処理と比較して，不揮発性反応生成物がチャンバー内に多く付着し，加工対象物に悪影響を与える。予防保全の観点からは，チャンバー内の汚れ具合に合わせたメンテナンスが有効だが，その汚れ度が正確に分からないため，最適なメンテナンス時期の判断が困難であった。今回プラズマのインピーダンスを測定するプラズマモニターのデータと，既存の装置制御データを用いて，チャンバーの汚れ度を正確に推定する方法を開発したので報告する。</p>
収録刊行物
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- エレクトロニクス実装学会誌
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エレクトロニクス実装学会誌 27 (3), 249-258, 2024-05-01
一般社団法人エレクトロニクス実装学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390862943886050048
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- ISSN
- 1884121X
- 13439677
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- Crossref
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可