Overview of On-Machine Metrology with Probing Method
-
- TAKAYA Yasuhiro
- 大阪大学大学院工学研究科機械工学専攻
Bibliographic Information
- Other Title
-
- 非接触機上計測のこれまでと展望
Journal
-
- Journal of the Japan Society for Precision Engineering
-
Journal of the Japan Society for Precision Engineering 90 (5), 387-393, 2024-05-05
The Japan Society for Precision Engineering
- Tweet
Keywords
Details 詳細情報について
-
- CRID
- 1390863008736898816
-
- ISSN
- 1882675X
- 09120289
-
- Text Lang
- ja
-
- Data Source
-
- JaLC
- Crossref