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準安定相ペロブスカイト型タンタル酸カルシウム薄膜の構造解析
DOI
川口 昂彦
静大院工
杉田 真由子
静大院工
坂元 尚紀
静大院工
鈴木 久男
静大院工
脇谷 尚樹
静大院工
書誌事項
タイトル別名
Structural analysis of metastable phase perovskite-type calcium tantalate thin film
収録刊行物
応用物理学会学術講演会講演予稿集
応用物理学会学術講演会講演予稿集 2021.2 (0), 1414-1414, 2021-08-26
公益社団法人 応用物理学会
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キーワード
12p-N203-6
薄膜・表面
薄膜新材料
誘電性薄膜
PLD
誘電体
ペロブスカイト
詳細情報
詳細情報について
CRID
1390864557180730240
DOI
10.11470/jsapmeeting.2021.2.0_1414
ISSN
24367613
本文言語コード
ja
データソース種別
JaLC
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