DLC薄膜表面のXPS分析

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タイトル別名
  • XPS analysis of DLC thin films

抄録

<p>DLC薄膜には多様な種類がある。SP3結合主体のテトラヒドラルアモルファスカーボン(ta-C)やSP2結合主体のアモルファスカーボン(a-C)のXPS分析において， ta-Ｃ薄膜表面をアルゴンスパッタするとa-C薄膜のC1sスペクトル形状に変化する点を中心に調べた。我々は、スパッタリングによって表面構造が壊されたものと考える。実験は膜厚を変えて，剥離方法も工夫した。波形分離方法についても議論する。</p>

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1391131406292153984
  • NII論文ID
    130007959385
  • DOI
    10.14886/jvss.2020.0_212
  • ISSN
    24348589
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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