HAXPES Analysis of Interface in Optical Thin Film

DOI

Bibliographic Information

Other Title
  • 光学薄膜界面の HAXPES 解析

Description

光デバイス表面の反射率、透過率等の光学特性制御のために用いる光学薄膜は、積層膜であることが多いが、膜のバルク層や界面層が設計と異なる状態となっている場合、その層で意図せぬ光散乱や光吸収が生じるため、設計した光学特性が得られない悪影響が生じる。今回、設計と異なる光学特性を示した積層膜に対し、硬X線光電子分光（HAXPES）を用いた化学結合状態分析を行った結果、界面層が設計と異なる状態となっていることが明らかとなった。

Journal

Keywords

Details 詳細情報について

  • CRID
    1391412881282972032
  • NII Article ID
    130007969784
  • DOI
    10.18957/rr.8.2.420
  • ISSN
    21876886
  • Text Lang
    ja
  • Data Source
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • Abstract License Flag
    Disallowed

Report a problem

Back to top