スパッタ法によるZnとAZOによる二層膜の検討

書誌事項

タイトル別名
  • スパッタホウ ニ ヨル Zn ト AZO ニ ヨル ニソウマク ノ ケントウ
  • Consideration of Bilayer Film with Zn and AZO Deposited by Sputtering Method
  • 電子部品・材料
  • デンシ ブヒン ・ ザイリョウ

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