フォトレフレクタンス分光法によるSiの表面応力の非接触・非破壊評価
書誌事項
- タイトル別名
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- フォトレフレクタンス ブンコウホウ ニ ヨル Si ノ ヒョウメン オウリョク ノ ヒセッショク ヒハカイ ヒョウカ
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収録刊行物
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- 和歌山工業高等専門学校研究紀要 / 和歌山工業高等専門学校地域共同テクノセンター 編
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和歌山工業高等専門学校研究紀要 / 和歌山工業高等専門学校地域共同テクノセンター 編 (36), 15-19, 2001-10
御坊 : 和歌山工業高等専門学校
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520009407066558848
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- NII論文ID
- 40003919765
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- NII書誌ID
- AN00257820
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- ISSN
- 02875381
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- NDL書誌ID
- 5964268
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZM2(科学技術--科学技術一般--大学・研究所・学会紀要)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles