SiドープAlNおよび高Al組成AlGaNのn型伝導性制御

書誌事項

タイトル別名
  • Si ドープ AlN オヨビ コウAl ソセイ AlGaN ノ nガタ デンドウセイ セイギョ
  • 小特集テーマ 進展する窒化物半導体光・電子デバイスの現状
  • ショウトクシュウ テーマ シンテン スル チッカブツ ハンドウタイ ヒカリ デンシ デバイス ノ ゲンジョウ
公開日
2002-06-13
公開者
東京 : 電子情報通信学会

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