高性能GaN MOSFET実現に向けたSiO₂/GaN界面制御

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タイトル別名
  • コウセイノウ GaN MOSFET ジツゲン ニ ムケタ SiO ₂/GaN カイメン セイギョ
  • Control of SiO₂/GaN Interface for High-performance GaN MOSFET
  • シリコン材料・デバイス
  • シリコン ザイリョウ ・ デバイス

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