論文:酸化ガリウムをパワー素子に SiCよりも安く、高性能に

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  • 酸化ガリウムをパワー素子に SiCよりも安く、高性能に
  • サンカ ガリウム オ パワー ソシ ニ SiC ヨリ モ ヤスク 、 コウセイノウ ニ
  • 酸化ガリウムをパワー素子に SiCよりも安く、高性能に
  • Replacing SiC with Gallium Oxide to Achieve Cheaper and Higher-Performance Power Devices

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抄録

SiCとGaNよりも、高耐圧で低損失なパワー半導体素子を安価に作製できる可能性があるとして、β型Ga2O3に注目が集まっている。きっかけとなったのが、情報通信研究機構などの研究グループが開発したトランジスタである。今回、研究グループの技術者に、β型Ga2O3の特徴や研究開発の成果、そして今後の展開について解説してもらう。

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