集束プロトンビーム描画による高アスペクト比構造の加工とその応用
Bibliographic Information
- Other Title
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- シュウソク プロトン ビーム ビョウガ ニ ヨル コウアスペクトヒ コウゾウ ノ カコウ ト ソノ オウヨウ
- High-aspect-ratio structures by proton beam writing and its applications
- 特集 高エネルギーイオンビームを用いたナノ・マイクロ構造創製技術とその応用
- トクシュウ コウエネルギーイオンビーム オ モチイタ ナノ マイクロ コウゾウ ソウセイ ギジュツ ト ソノ オウヨウ
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Journal
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- 放射線 = Ionizing radiation
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放射線 = Ionizing radiation 35 (2), 77-86, 2009-12
[東京] : 応用物理学会放射線分科会
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520009407147709056
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- NII Article ID
- 10026204511
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- NII Book ID
- AN00313954
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- ISSN
- 02853604
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- NDL BIB ID
- 10551087
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZM35(科学技術--物理学)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles
- KAKEN
