絶縁ゲート型トランジスタに向けた絶縁体/窒化物半導体界面形成プロセスの検討

書誌事項

タイトル別名
  • ゼツエン ゲートガタ トランジスタ ニ ムケタ ゼツエンタイ/チッカブツ ハンドウタイ カイメン ケイセイ プロセス ノ ケントウ
  • Investigation of interface formation process between insulator and nitride-semiconductor for insulated gate transistors
  • シリコン材料・デバイス
  • シリコン ザイリョウ ・ デバイス

この論文をさがす

収録刊行物

詳細情報 詳細情報について

問題の指摘

ページトップへ