半導体超薄膜の成長と物性評価
Bibliographic Information
- Other Title
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- ハンドウタイ チョウ ハクマク ノ セイチョウ ト ブッセイ ヒョウカ
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Abstract
資料形態 : テキストデータ プレーンテキスト
Journal
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- 中研所報 / 大阪工大摂南大学中央研究所 [編]
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中研所報 / 大阪工大摂南大学中央研究所 [編] 21 (2), p198-217, 1988
大阪 : 大阪工大摂南大学中央研究所
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520009407202097152
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- NII Article ID
- 40004716649
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- NII Book ID
- AN10156003
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- ISSN
- 02878186
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- NDL BIB ID
- 3206667
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZM2(科学技術--科学技術一般--大学・研究所・学会紀要)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles
