ALD法を用いたフレキシブルフィルム上へのゼオライト薄膜の試作とイオン吸着特性評価

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  • ALDホウ オ モチイタ フレキシブルフィルム ジョウ エ ノ ゼオライト ハクマク ノ シサク ト イオン キュウチャク トクセイ ヒョウカ
  • 電子デバイス
  • デンシ デバイス

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