Pt/TiゲートSi-MOSFETのデバイス特性解析 : 水素センサの観点から
書誌事項
- タイトル別名
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- Pt/Ti ゲート Si-MOSFET ノ デバイス トクセイ カイセキ : スイソ センサ ノ カンテン カラ
- Device Analysis of Pt/Ti gate Si-MOSFETs as Hydrogen Gas Sensors
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収録刊行物
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- Proceedings of the Chemical Sensor Symposium
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Proceedings of the Chemical Sensor Symposium 55 112-114, 2013-09
長崎 : 電気化学会化学センサ研究会