サーフェイスモータを用いた六自由度精密XYステージの開発
Bibliographic Information
- Other Title
-
- サーフェイス モータ オ モチイタ 6ジユウド セイミツ XY ステージ ノ
Search this article
Journal
-
- 日本機械学会論文集. C編
-
日本機械学会論文集. C編 62 (597), 1840-1847, 1996-05
東京 : 日本機械学会 ; 1979-2010
- Tweet
Details 詳細情報について
-
- CRID
- 1520009407375266816
-
- NII Article ID
- 10005309757
- 110002382663
-
- NII Book ID
- AN00187463
-
- ISSN
- 03875024
-
- NDL BIB ID
- 3966611
-
- Text Lang
- ja
-
- NDL Source Classification
-
- ZN11(科学技術--機械工学・工業)
-
- Data Source
-
- NDL
- CiNii Articles
