書誌事項
- タイトル別名
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- カイセツ ECR スパッタホウ ニ ヨル カーボン ホゴ マク
- 小特集 最近の硬質薄膜成膜技術
- ショウトクシュウ サイキン ノ コウシツ ハクマクセイマク ギジュツ
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抄録
資料形態 : テキストデータ プレーンテキスト
収録刊行物
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- トライボロジスト = Journal of Japanese Society of Tribologists / 日本トライボロジー学会 編
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トライボロジスト = Journal of Japanese Society of Tribologists / 日本トライボロジー学会 編 45 (3), 204-210, 2000-03
東京 : 日本トライボロジー学会 ; 1989-
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520009407393093120
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- NII論文ID
- 10004665924
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- NII書誌ID
- AN10056166
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- ISSN
- 09151168
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- NDL書誌ID
- 5309000
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN11(科学技術--機械工学・工業)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles