反応性スパッタリングによるセラミックス薄膜の作製
Bibliographic Information
- Other Title
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- ハンノウセイ スパッタリング ニ ヨル セラミックス ハクマク ノ サクセイ
- 特集1 スパッタリングによる機能性セラミックス薄膜
- トクシュウ 1 スパッタリング ニ ヨル キノウセイ セラミックス ハクマク
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Abstract
資料形態 : テキストデータ プレーンテキスト
Journal
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- Ceramics Japan = セラミックス : bulletin of the Ceramic Society of Japan
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Ceramics Japan = セラミックス : bulletin of the Ceramic Society of Japan 33 (10), 811-815, 1998-10
東京 : 日本セラミックス協会
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520009407426676608
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- NII Article ID
- 10002017276
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- NII Book ID
- AN00131516
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- ISSN
- 0009031X
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- NDL BIB ID
- 4575323
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZP9(科学技術--化学・化学工業--無機化学・無機化学工業--セラミックス・窯業)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles
