特集:Optical MEMS(光微小電気機械システム)技術
書誌事項
- タイトル別名
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- トクシュウ Optical MEMS ヒカリ ビショウ デンキ キカイ システム ギジュツ
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抄録
記事種別: 特集
収録刊行物
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- 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌 = IEEJ transactions on sensors and micromachines
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電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌 = IEEJ transactions on sensors and micromachines 123 (10), 383-415, 2003-10
東京 : 電気学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520009407463549312
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- NII論文ID
- 40005967096
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- NII書誌ID
- AN1052634X
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- ISSN
- 13418939
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- NDL書誌ID
- 6718960
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN31(科学技術--電気工学・電気機械工業)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles