排熱TSVへ向けたナノカーボン材料の熱特性評価

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タイトル別名
  • ハイネツ TSV エ ムケタ ナノカーボン ザイリョウ ノ ネツ トクセイ ヒョウカ
  • Improved Thermal Conductivity by Vertical Graphene Contact Formation for Thermal TSV
  • シリコン材料・デバイス
  • シリコン ザイリョウ ・ デバイス

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