Si02基板上の非晶質Si/Ge積層構造におけるGe拡散と結晶化過程

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タイトル別名
  • Si02 キバン ジョウ ノ ヒショウシツ Si Ge セキソウ コウゾウ ニ オケル Ge カクサン ト ケッショウカ カテイ
  • 電子デバイス--低温ポリSiTFTと有機EL技術
  • デンシ デバイス テイオン ポリ SiTFT ト ユウキ EL ギジュツ

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