招待講演 SiC中の不純物拡散モデル

書誌事項

タイトル別名
  • ショウタイ コウエン SiC チュウ ノ フジュンブツ カクサン モデル
  • Invited Talk : Impurity Diffusion Modeling in SiC
  • シリコン材料・デバイス
  • シリコン ザイリョウ ・ デバイス

この論文をさがす

収録刊行物

詳細情報 詳細情報について

問題の指摘

ページトップへ