高エネルギー重イオンビームによる高分子膜のナノ加工とその利用

書誌事項

タイトル別名
  • コウエネルギージュウ イオンビーム ニ ヨル コウブンシ マク ノ ナノ カコウ ト ソノ リヨウ
  • Nano-fabrication of polymer films using high energy heavy ion beams
  • 特集 高エネルギーイオンビームを用いたナノ・マイクロ構造創製技術とその応用
  • トクシュウ コウエネルギーイオンビーム オ モチイタ ナノ マイクロ コウゾウ ソウセイ ギジュツ ト ソノ オウヨウ

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