DLC膜の摩擦初期なじみ過程へのスパッタ前処理の影響

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タイトル別名
  • DLC マク ノ マサツ ショキ ナジミ カテイ エ ノ スパッタ マエ ショリ ノ エイキョウ
  • The effect of pre-sputtering on running-in process in friction of DLC film

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