SiGe選択エピタキシャル成長前の基板表面清浄化方法がHBT特性に与える影響の検討

書誌事項

タイトル別名
  • SiGe センタク エピタキシャル セイチョウ マエ ノ キバン ヒョウメン セイジョウカ ホウホウ ガ HBT トクセイ ニ アタエル エイキョウ ノ ケントウ

この論文をさがす

収録刊行物

参考文献 (8)*注記

もっと見る

詳細情報 詳細情報について

問題の指摘

ページトップへ