大気開放型MOCVD法によるPZT膜の作製
書誌事項
- タイトル別名
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- タイキ カイホウガタ MOCVDホウ ニ ヨル PZTマク ノ サクセイ
- Preparation of PZT thin film by MOCVD method operated in atmospheric regime
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収録刊行物
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- 新居浜工業高等専門学校紀要 = Memoirs of Niihama National College of Technology / 新居浜工業高等専門学校図書委員会 編
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新居浜工業高等専門学校紀要 = Memoirs of Niihama National College of Technology / 新居浜工業高等専門学校図書委員会 編 43 39-42, 2007-02
新居浜 : 新居浜工業高等専門学校
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520009407657852544
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- NII論文ID
- 40015601324
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- NII書誌ID
- AN10590087
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- ISSN
- 13426540
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- NDL書誌ID
- 8913434
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZV1(一般学術誌--一般学術誌・大学紀要)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles