RFマグネトロンスパッタリング法によるLiMn2O4薄膜生成への石英円筒の効果

書誌事項

タイトル別名
  • RF マグネトロンスパッタリングホウ ニ ヨル LiMn2O4 ハクマク セイセイ エ ノ セキエイ エントウ ノ コウカ
  • Effect of quartz tube on crystal properties of LiMn2O4 films prepared by RF magnetron sputtering
  • 電子部品・材料
  • デンシ ブヒン ザイリョウ

この論文をさがす

収録刊行物

参考文献 (37)*注記

もっと見る

詳細情報 詳細情報について

問題の指摘

ページトップへ