MOCVD法によるGaAs基板上InGaAs層の低温成長

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  • MOCVDホウ ニ ヨル GaAs キバン ジョウ InGaAsソウ ノ テイオン セイチョウ
  • 結晶成長,評価技術及びデバイス(化合物,Si,SiGe,電子材料,太陽電池,高耐圧素子等) 小特集:3族窒化物研究の最前線
  • ケッショウ セイチョウ ヒョウカ ギジュツ オヨビ デバイス カゴウブツ Si SiGe デンシ ザイリョウ タイヨウ デンチ コウタイアツ ソシ トウ ショウトクシュウ 3ゾク チッカブツ ケンキュウ ノ サイゼンセン

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