招待講演 基板からみたGe n-MOSFETsにおける電子移動度の考察

書誌事項

タイトル別名
  • ショウタイ コウエン キバン カラ ミタ Ge n-MOSFETs ニ オケル デンシ イドウド ノ コウサツ
  • Reconsideration of Electron Mobility in Ge n-MOSFETs from Ge Substrate Side
  • シリコン材料・デバイス 先端CMOSデバイス・プロセス技術(IEDM特集)
  • シリコン ザイリョウ ・ デバイス センタン CMOS デバイス ・ プロセス ギジュツ(IEDM トクシュウ)

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