依頼講演 TFT作製プロセスによりa-IGZO-TFTに導入される水素関連欠陥の光誘起電流過渡分光法による評価
書誌事項
- タイトル別名
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- イライ コウエン TFT サクセイ プロセス ニ ヨリ a-IGZO-TFT ニ ドウニュウ サレル スイソ カンレン ケッカン ノ ヒカリ ユウキ デンリュウ カト ブンコウホウ ニ ヨル ヒョウカ
- Photo-Induced Transient Spectroscopy Study on Hydrogen-Related Trap States in a-IGZO-TFTs induced during TFT Fabrication Process
- 情報ディスプレイ ; ディスプレイ材料・製造技術シンポジウム
- ジョウホウ ディスプレイ ; ディスプレイ ザイリョウ ・ セイゾウ ギジュツ シンポジウム
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収録刊行物
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- 映像情報メディア学会技術報告 = ITE technical report
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映像情報メディア学会技術報告 = ITE technical report 42 (8), 21-26, 2018-03
東京 : 映像情報メディア学会
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520009407870338048
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- NII論文ID
- 40021515190
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- NII書誌ID
- AN1059086X
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- ISSN
- 13426893
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- NDL書誌ID
- 028928988
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles