紫外線感光性樹脂を使ったマスクパターン転写法とビーム描画法によるマイクロ部品の製作
Bibliographic Information
- Other Title
-
- シガイセン カンコウセイ ジュシ オ ツカッタ マスク パターン テンシャホウ
- 特集号 高分子の微細・精密加工とキャラクタリゼーションー1-
- トクシュウゴウ コウブンシ ノ ビサイ セイミツ カコウ ト キャラクタリゼー
Search this article
Journal
-
- 高分子論文集 = Japanese journal of polymer science and technology
-
高分子論文集 = Japanese journal of polymer science and technology 53 (4), 209-217, 1996-04
東京 : 高分子学会
- Tweet
Details 詳細情報について
-
- CRID
- 1520009408013517312
-
- NII Article ID
- 10003283364
-
- NII Book ID
- AN00085011
-
- ISSN
- 03862186
-
- NDL BIB ID
- 3947640
-
- Text Lang
- ja
-
- NDL Source Classification
-
- ZP16(科学技術--化学・化学工業--高分子化学・高分子化学工業)
-
- Data Source
-
- NDL
- CiNii Articles