Reversal of UV Sensitivity and Loss Reduction of SiON Microring Resonator by Thermal Annealing
書誌事項
- タイトル別名
-
- マイクロリング共振器用SiON光導波膜の紫外線感光性の起源と低損失化の探求
この論文をさがす
収録刊行物
-
- 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
-
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 106 (54), 37-42, 2006-05-19
東京 : 電子情報通信学会
- Tweet
キーワード
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1520009408104072960
-
- NII論文ID
- 110004745213
- 10018155727
-
- NII書誌ID
- AN10442691
-
- ISSN
- 09135685
-
- NDL書誌ID
- 7938548
-
- 本文言語コード
- en
-
- NDL 雑誌分類
-
- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
-
- データソース種別
-
- NDLサーチ
- CiNii Articles
