モンテカルロ法によるイオン化スパッタシミュレーション(第2報,ウエハ表面におけるCu原子・イオンの挙動の考慮)

Bibliographic Information

Other Title
  • モンテカルロホウ ニ ヨル イオンカ スパッタシミュレーション ダイ2ホウ ウエハ ヒョウメン ニ オケル Cu ゲンシ イオン ノ キョドウ ノ コウリョ

Search this article

Journal

Citations (1)*help

See more

References(24)*help

See more

Details 詳細情報について

Report a problem

Back to top