ドライ転写技術によるナノキャビティ上へのCVD単層グラフェンダイアフラムの製作

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  • ドライ テンシャ ギジュツ ニ ヨル ナノキャビティ ジョウ エ ノ CVDタンソウ グラフェンダイアフラム ノ セイサク
  • Fabrication of CVD single-layer graphene diaphragm above a nano cavity by dry transfer technique
  • シリコン材料・デバイス
  • シリコン ザイリョウ ・ デバイス

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