Ga2O3薄膜の作製と酸素センサ特性の評価

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タイトル別名
  • Ga2O3 ハクマク ノ サクセイ ト サンソ センサ トクセイ ノ ヒョウカ
  • Preparation of Ga2O3 films and evaluation of oxygen sensing properties
  • 電子部品・材料
  • デンシ ブヒン ザイリョウ

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