Sub-100nm MOSFETのエクステンション領域におけるキャリア分布評価

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タイトル別名
  • Sub 100nm MOSFET ノ エクステンション リョウイキ ニ オケル キャリア ブンプ ヒョウカ
  • 特集:先端CMOS及びプロセス関連技術
  • トクシュウ センタン CMOS オヨビ プロセス カンレン ギジュツ

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