メッキ銅配線層の薄膜効果による比抵抗の増加
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- メッキ ドウ ハイセンソウ ノ ハクマク コウカ ニ ヨル ヒ テイコウ ノ ゾウカ
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- 法政大学イオンビーム工学研究所報告
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法政大学イオンビーム工学研究所報告 (23), 27-29, 2002
小金井 : 法政大学イオンビーム工学研究所
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520009408293199360
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- NII Article ID
- 40006202436
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- NII Book ID
- AN00354689
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- ISSN
- 02860201
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- NDL BIB ID
- 6870918
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZM35(科学技術--物理学)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles
