Analysis of Rayleigh-mode spurious response using finite element method/spectrum domain analysis for surface acoustic wave resonator on nonflat SiO2/Al/LiNbO3 structure

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  • Analysis of Rayleigh mode spurious response using finite element method spectrum domain analysis for surface acoustic wave resonator on nonflat SiO2 Al LiNbO3 structure
  • Special issue: Ultrasonic electronics
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