特別招待論文 サブ45nm時代に向けて、SOI基板技術の現状と展望

詳細情報 詳細情報について

• CRID

  1520009408381196672

• NII論文ID

  110003318346

  110003311468

• NII書誌ID

  AA1123312X

• ISSN

  09135685

• NDL書誌ID

  7431895

  7431778

• Web Site

  http://id.ndl.go.jp/bib/7431895

  https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I7431895

  http://id.ndl.go.jp/bib/7431778

  https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I7431778

• 本文言語コード

  ja

• NDL 雑誌分類

  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)

• データソース種別

  • NDL
  • CiNii Articles