レーザーアニールによる非晶質基板上への(111)面配向多結晶ゲルマニウム薄膜の形成

書誌事項

タイトル別名
  • レーザーアニール ニ ヨル ヒショウシツ キバン ジョウ エ ノ(111)メンハイコウ タケッショウ ゲルマニウム ハクマク ノ ケイセイ
  • Crystallization of Germanium Film with (111) Orientation on Amorphous Substrate by Laser Annealing
  • 電子ディスプレイ
  • デンシ ディスプレイ

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