SOI膜厚5nmの(100)面極薄nMOSFETにおける移動度ユニバーサリティ

書誌事項

タイトル別名
  • SOI マクアツ 5nm ノ 100 メン ゴクウス nMOSFET ニ オケル イドウド ユニバーサリティ
  • Experimental study on mobility universality in (100) ultra thin body nMOSFET with SOI thickness of 5nm
  • シリコン材料・デバイス
  • シリコン ザイリョウ デバイス

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