大電力パルススパッタ法によるスピント型陰極作製における放電ガス(アルゴン、クリプトン)の効果

書誌事項

タイトル別名
  • ダイ デンリョク パルススパッタホウ ニ ヨル スピントガタ インキョク サクセイ ニ オケル ホウデン ガス(アルゴン 、 クリプトン)ノ コウカ
  • Effects of discharge gas species (Ar, Kr) on fabrication of Spindt type emitter cathode using high power pulsed magnetron sputtering

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