スパッタリング法によるLiMn2O4薄膜の生成

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タイトル別名
  • スパッタリングホウ ニ ヨル LiMn2O4 ハクマク ノ セイセイ
  • Preparation of LiMn2O4 films by sputtering method
  • シリコン材料・デバイス
  • シリコン ザイリョウ デバイス

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