DRIE技術により作製したチタン製微小手術針の機械的特性評価
書誌事項
- タイトル別名
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- DRIE ギジュツ ニ ヨリ サクセイ シタ チタンセイ ビショウ シュジュツシン ノ キカイテキ トクセイ ヒョウカ
- Mechanical Characterization of Titanium Microneedles Fabricated by DRIE for Microsurgery
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収録刊行物
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- 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]
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「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 31 1-4, 2014-10
[東京] : Institute of Electrical Engineers of Japan